Яагаад UHP хийн хангамжийн системүүд ийм чухал вэ?
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд - сийлбэр, CVD, ионы суулгац, литографи зэрэг процессуудад - процессын хий нь хэт өндөр цэвэршилттэй байх ёстой бөгөөд ихэвчлэн 99.99999% (6N) эсвэл бүр 99.999999% (7N) байх ёстой. Чийг эсвэл хүчилтөрөгч гэх мэт ppb (тэрбум тутамд ногдох хэсэг) эсвэл ppt (триллион тутамд ногдох хэсэг) түвшинд байгаа ул мөр бохирдуулагчид ч гэсэн хаалганы исэл нимгэрэх, металл хоосон зай үүсэх, эсвэл вафли дээрх богино холболт зэрэг үхлийн аюултай согог үүсгэж, бүхэл бүтэн хэсгийг хаягдал болгох магадлалтай.
Тиймээс UHP хийн хангамжийн системийн зорилго нь хийг эх үүсвэрээс процессын хэрэгсэл рүү цэвэршилтийн ямар ч доройтолгүйгээр тээвэрлэх, бохирдол болон алдагдахаас урьдчилан сэргийлэх явдал юм.
Яагаад EP хоолой нь UHP системийн гол тулгуур болдог вэ?
EP (цахилгаан өнгөлгөөтэй) хоолой нь электрохимийн өнгөлгөөний процесст ордог зэвэрдэггүй гангаар хийгдсэн бөгөөд толин тусгал шиг дотоод гадаргуу үүсгэдэг. Энэ нь UHP хийн тархалтын зайлшгүй "артери" болгодог.
Төгс цэвэр байдал - Эх үүсвэрээс нь урьдчилан сэргийлэх
EP боловсруулалт нь дотоод гадаргуугийн барзгаржилтыг (Ra) 0.13 µm – 0.25 µm буюу түүнээс доош хүртэл бууруулдаг. Энэхүү хэт зөөлөн өнгөлгөө нь микроскопийн ан цав болон адсорбцийн цэгүүдийг арилгаж, бөөмс, металл ионууд эсвэл чийг наалдах зай үлдээдэггүй.
Зэврэлтээс хамгаалах чадварыг сайжруулсан - Цэвэр ариун байдлыг хадгалах
Цахилгаан өнгөлгөөний алхам нь гадаргуугийн хольцыг арилгаж, хром исэлээр баялаг идэвхгүй давхарга үүсгэдэг бөгөөд Cl₂, CF₄, HCl зэрэг зэврэлттэй хийд тэсвэртэй байдлыг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг. Энэ нь хоолойн ханын зэврэлтээс урьдчилан сэргийлж, улмаар тоосонцор эсвэл хийн бохирдол үүсгэж болзошгүй.
Урсгалын үр ашгийг сайжруулж, хурдан цэвэрлэгээ хийнэ
Гөлгөр дотоод хана нь урсгалын эсэргүүцлийг бууруулж, системийн цэвэрлэгээ болон хийн орлуулалтыг хурдасгадаг. Хийн хурдан солих шаардлагатай процессуудад энэ нь мөчлөгийн хугацааг богиносгож, гайхалтай дамжуулах чадварыг нэмэгдүүлдэг.
Дээд зэрэглэлийн материал – “Титэм” стандарт
Өндөр чанартай EP хоолойг 316L VIM-VAR (Вакуум индукцийн хайлалт + Вакуум нуман дахин хайлуулах) зэвэрдэггүй гангаар үйлдвэрлэдэг. Энэхүү давхар хайлуулах процесс нь үндсэн металлын маш их хэмжээний цэвэр байдлыг хангадаг бөгөөд энэ нь EP-ийн эцсийн гүйцэтгэлд хүрэх үндсэн урьдчилсан нөхцөл юм.
Хэрэглээний гол хувилбарууд
•
Гол үйл явцууд– Сийлбэр, зүрх судасны өвчин, ионы суулгац, литографийн өндөр цэвэршилттэй урвалд ордог хийг нийлүүлэх.
•
Тусгай хийнүүд– SiH₄, PH₃, Cl₂, BCl₃ зэрэг шатамхай, хортой эсвэл идэмхий хийтэй аюулгүй харьцах. Маш аюултай хийн хувьд давхар битүүмжлэлтэй EP хоолойг ихэвчлэн ашигладаг (хийд зориулсан дотор хоолой, гоожиж буй хэсгийг хянахын тулд гадна бүрхүүлийг соруулж эсвэл азотоор цэвэрлэдэг).
•
Чухал техник хангамж– Хэт цэвэрхэн дотоод гадаргуу шаардлагатай хийн хуваарилах хавтан (ХТХ), хийн шүүгээ, технологийн багажны холболтод ашигладаг.
Хоолойноос гадна: Бүрэн UHP системийн бусад зайлшгүй шаардлагатай зүйлс
Бүрэн бүтэн байдлыг хангахын тулд систем нь дараахь зүйлийг багтаасан байх ёстой.
•
Бүрэн автомат тойрог замын гагнуур– ISO 5-р ангилал (100-р ангилал) буюу түүнээс дээш цэвэр өрөөнд гүйцэтгэсэн тул гараар гагнах гажуудал болон бохирдлын эрсдэлийг арилгана.
•
Бүхэлдээ металл нүүрний битүүмжлэлийн холбох хэрэгсэл– Жишээлбэл, гоожихгүй байхын тулд металл жийргэвч ашигладаг VCR® эсвэл W-Seal төрлийнх.
•
Нарийн цэвэрлэгээ ба сав баглаа боодол– EP хоолойг ихэвчлэн өндөр цэвэршилттэй усаар цэвэрлэж, хатааж, азотоор цэвэрлэсний дараа цэвэр өрөөний савлагаанд давхар уутанд хийж, суурилуулах хүртэл цэвэр байдлыг нь хадгалдаг.
EP хоолой нь зүгээр нэг хоолой биш - энэ нь хагас дамжуулагч хийн хангамжийн эхний хамгаалалтын шугам юм. Түүний хэт гөлгөр гадаргуу, дээд зэргийн зэврэлтээс хамгаалах чадвар, дээд зэргийн материалын цэвэр байдал нь ваферын гарц, төхөөрөмжийн найдвартай байдал, нийт ашигт ажиллагаанд шууд нөлөөлдөг. 5 нм-ээс доош зангилаа, улам бүр чангарсан согогийн төсвийн ертөнцөд EP хоолой нь заавал байх албагүй - энэ нь үндсэн зүйл юм.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 8-р сарын 5