As хагас дамжуулагчМикроэлектроник технологиуд илүү өндөр гүйцэтгэл, илүү өндөр интеграцчилал руу чиглэн хөгжиж байгаа тул электрон тусгай хийн цэвэр байдалд илүү өндөр шаардлага тавьдаг. Өндөр цэвэршилттэй хийн хоолойн технологи нь өндөр цэвэршилттэй хийн хангамжийн системийн чухал хэсэг юм. Энэ нь чанарын шаардлага хангасан өндөр цэвэршилттэй хийг хийн хэрэглээний цэгүүдэд хүргэх гол технологи бөгөөд чанараа хадгалсаар байна.
Өндөр цэвэршилттэй хоолойн технологид системийн зөв дизайн, хоолойн холбох хэрэгсэл болон туслах материалыг сонгох, барилга угсралт, суурилуулалт, туршилт орно.
01 Хий дамжуулах хоолойн ерөнхий ойлголт
Бүх өндөр цэвэршилттэй, өндөр цэвэршилттэй хийг дамжуулах хоолойгоор дамжуулан терминалын хийн цэг рүү тээвэрлэх шаардлагатай. Хийн экспортын индекс тодорхой болсон үед хийн технологийн чанарын шаардлагыг хангахын тулд дамжуулах хоолойн системийн материалын сонголт болон барилгын чанарт анхаарлаа хандуулах нь илүү чухал юм. Хий үйлдвэрлэх эсвэл цэвэршүүлэх төхөөрөмжийн нарийвчлалаас гадна дамжуулах хоолойн системийн олон хүчин зүйл үүнд ихээхэн нөлөөлдөг. Тиймээс хоолойг сонгохдоо холбогдох цэвэршүүлэх салбарын зарчмуудыг дагаж мөрдөж, зураг дээр хоолойн материалыг тэмдэглэх шаардлагатай.
02 Хийн тээвэрлэлтэд өндөр цэвэршилттэй дамжуулах хоолойн ач холбогдол
Өндөр цэвэршилттэй хий тээвэрлэхэд өндөр цэвэршилттэй хоолойн ач холбогдол Зэвэрдэггүй ган хайлуулах явцад тонн бүр 200 орчим г хий шингээж чаддаг. Зэвэрдэггүй ган боловсруулсны дараа түүний гадаргуу дээр янз бүрийн бохирдуулагч наалдаад зогсохгүй металл торонд нь тодорхой хэмжээний хий шингэдэг. Шугам хоолойгоор агаарын урсгал өнгөрөхөд металлаар шингээгдсэн хийн хэсэг нь агаарын урсгалд дахин орж, цэвэр хийг бохирдуулна.
Хоолой дахь агаарын урсгал тасалдах үед хоолой нь дамжин өнгөрч буй хий дээр даралтын адсорбц үүсгэдэг. Агаарын урсгал дамжихаа болих үед хоолойд шингээгдсэн хий нь даралтыг бууруулах шинжилгээ үүсгэдэг бөгөөд шинжилсэн хий нь мөн хоолой дахь цэвэр хийд хольц хэлбэрээр ордог.
Үүний зэрэгцээ, адсорбци ба шинжилгээний мөчлөг нь хоолойн дотор гадаргуу дээрх металлыг тодорхой хэмжээний нунтаг үүсгэхэд хүргэдэг. Энэхүү металл тоосны хэсгүүд нь хоолой дахь цэвэр хийг бохирдуулдаг. Хоолойн энэ шинж чанар нь маш чухал юм. Тээвэрлэсэн хийн цэвэр байдлыг хангахын тулд хоолойн дотор гадаргуу нь маш өндөр гөлгөр байхаас гадна элэгдэлд тэсвэртэй байх шаардлагатай.
Хий нь хүчтэй зэврэлттэй шинж чанартай үед зэврэлтэнд тэсвэртэй зэвэрдэггүй ган хоолой ашиглах шаардлагатай. Үгүй бол зэврэлтээс болж хоолойн дотор гадаргуу дээр зэврэлтийн толбо үүснэ. Хүнд тохиолдолд том металл хэсгүүд хуулагдах эсвэл бүр цоолбор үүсч, улмаар тээвэрлэж буй цэвэр хийг бохирдуулдаг.
03 Хоолойн материал
Хоолойн материалыг ашиглах хэрэгцээнд нийцүүлэн сонгох шаардлагатай. Хоолойн чанарыг ерөнхийдөө хоолойн дотор талын барзгар чанараар хэмждэг. Барзгар чанар бага байх тусам тоосонцор зөөх магадлал бага байдаг. Ерөнхийдөө гурван төрөлд хуваагддаг:
Нэг ньEP зэрэглэлийн 316L хоолой, электролитийн аргаар өнгөлсөн (Electro-Polish). Энэ нь зэврэлтэнд тэсвэртэй бөгөөд гадаргуугийн барзгаржилт багатай. Rmax (хамгийн их оргилоос хөндийн өндөр хүртэл) нь ойролцоогоор 0.3μm буюу түүнээс бага байна. Энэ нь хамгийн өндөр тэгш байдалтай бөгөөд бичил хуйлралын гүйдэл үүсгэхэд хялбар биш юм. Бохирдсон хэсгүүдийг зайлуулна. Энэ түвшинд ашигласан урвалын хийг хоолойгоор дамжуулах ёстой.
Нэг ньBA зэрэг 316LBright Anneal-аар боловсруулсан хоолой бөгөөд ихэвчлэн чиптэй харьцдаг боловч GN2 болон CDA зэрэг процессын урвалд оролцдоггүй хийд ашиглагддаг. Нэг нь AP хоолой (Annealing & Picking) бөгөөд тусгайлан боловсруулагдаагүй бөгөөд ерөнхийдөө хийн хангамжийн шугам болгон ашигладаггүй давхар багц гаднах хоолойд ашиглагддаг.
04 Шугам хоолой барих
Хоолойн амыг боловсруулах нь энэхүү барилгын технологийн гол цэгүүдийн нэг юм. Хоолойн зүсэлт болон угсралтын ажлыг цэвэр орчинд гүйцэтгэдэг бөгөөд үүний зэрэгцээ зүсэхээс өмнө хоолойн гадаргуу дээр хортой ул мөр, гэмтэл байхгүй эсэхийг баталгаажуулдаг. Хоолойг нээхээс өмнө хоолойд азотын уусмал бэлтгэх бэлтгэл ажлыг хийх ёстой. Зарчмын хувьд өндөр цэвэршилттэй, өндөр цэвэршилттэй хийн дамжуулах болон түгээх хоолойг их урсгалтай холбоход гагнуур ашигладаг боловч шууд гагнуур хийхийг зөвшөөрдөггүй. Суултын холболтыг ашиглах ёстой бөгөөд ашигласан хоолойн материал нь гагнуурын явцад бүтцийн өөрчлөлтгүй байх шаардлагатай. Хэрэв хэт өндөр нүүрстөрөгчийн агууламжтай материалыг гагнасан бол гагнуурын хэсгийн агаар нэвтрүүлэх чадвар нь хоолойн дотор болон гадна талын хий бие биендээ нэвтэрч, дамжуулж буй хийн цэвэршилт, хуурайшилт, цэвэр байдлыг алдагдуулж, ноцтой үр дагаварт хүргэж, үйлдвэрлэлийн чанарт нөлөөлнө.
Товчхондоо, өндөр цэвэршилттэй хий болон тусгай хий дамжуулах хоолойн хувьд тусгайлан боловсруулсан өндөр цэвэршилттэй зэвэрдэггүй ган хоолой ашиглах ёстой бөгөөд энэ нь өндөр цэвэршилттэй хоолойн систем (хоолой, хоолойн холбох хэрэгсэл, хавхлага, VMB, VMP орно) нь өндөр цэвэршилттэй хийн түгээлтийн чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 11-р сарын 26