As хагас дамжуулагчболон микроэлектроник технологиуд нь илүү өндөр гүйцэтгэл, илүү өндөр интеграцид чиглэсэн хөгжиж, электрон тусгай хийн цэвэршилтэд илүү өндөр шаардлага тавьдаг. Өндөр цэвэршилттэй хий дамжуулах хоолой нь өндөр цэвэршилттэй хийн хангамжийн системийн чухал хэсэг юм. Энэ нь чанарын шаардлага хангасан өндөр цэвэршилттэй хийг хийн хэрэглээний цэгүүдэд хүргэх гол технологи юм.
Өндөр цэвэршилттэй хоолойн технологи нь системийн зөв дизайн, хоолойн холбох хэрэгсэл, туслах материалыг сонгох, барилга угсралт, суурилуулалт, туршилтыг багтаадаг.
01Хий дамжуулах хоолойн ерөнхий ойлголт
Бүх өндөр цэвэршилттэй, өндөр цэвэршилттэй хийг дамжуулах хоолойгоор дамжуулан терминалын хийн цэгт хүргэх шаардлагатай. Хийн экспортын индекс тодорхой байх үед хийн үйл явцын чанарын шаардлагыг хангахын тулд хоолойн системийн материалын сонголт, барилгын чанарт анхаарлаа хандуулах нь илүү чухал юм. Хийн үйлдвэрлэл, цэвэршүүлэх төхөөрөмжийн нарийвчлалаас гадна дамжуулах хоолойн системийн олон хүчин зүйл ихээхэн нөлөөлдөг. Тиймээс хоолойг сонгохдоо цэвэршүүлэх үйлдвэрлэлийн холбогдох зарчмуудыг баримталж, хоолойн материалыг зураг дээр тэмдэглэх шаардлагатай.
02Хий тээвэрлэхэд өндөр цэвэршилттэй дамжуулах хоолойн ач холбогдол
Өндөр цэвэршилттэй хий тээвэрлэхэд өндөр цэвэршилттэй дамжуулах хоолойн ач холбогдол Зэвэрдэггүй ган хайлуулах явцад тонн тутамд 200 грамм хий шингээх боломжтой. Зэвэрдэггүй ганг боловсруулсны дараа түүний гадаргуу дээр янз бүрийн бохирдуулагч бодисууд наалдаад зогсохгүй металл торонд нь тодорхой хэмжээний хий шингэдэг. Шугам хоолойгоор дамжин өнгөрөх агаарын урсгал байгаа үед метал шингэсэн хийн хэсэг нь агаарын урсгалд дахин орж, цэвэр хийг бохирдуулна.
Хоолойн агаарын урсгал тасалдсан үед хоолой нь дамжин өнгөрөх хий дээр даралтын шингээлтийг үүсгэдэг. Агаарын урсгал зогсоход хоолойд шингэсэн хий нь даралтыг бууруулах шинжилгээг үүсгэдэг бөгөөд шинжлэгдсэн хий нь хоолой дахь цэвэр хийд мөн хольц хэлбэрээр ордог.
Үүний зэрэгцээ шингээлт, шинжилгээний мөчлөг нь хоолойн дотоод гадаргуу дээрх металыг тодорхой хэмжээний нунтаг үүсгэхэд хүргэдэг. Энэ металлын тоосонцор хоолой дахь цэвэр хийг бас бохирдуулдаг. Хоолойн энэ шинж чанар нь маш чухал юм. Зөөврийн хийн цэвэр байдлыг хангахын тулд хоолойн дотоод гадаргуу нь маш өндөр гөлгөр байхаас гадна элэгдэлд тэсвэртэй байх ёстой.
Хий нь хүчтэй идэмхий шинж чанартай бол зэврэлтэнд тэсвэртэй зэвэрдэггүй ган хоолойг хоолойд ашиглах шаардлагатай. Үгүй бол зэврэлтээс болж хоолойн дотоод гадаргуу дээр зэврэлтийн толбо гарч ирнэ. Хүнд тохиолдолд, том металл хэсгүүд нь хальслах эсвэл бүр цоорох бөгөөд ингэснээр тээвэрлэж буй цэвэр хийг бохирдуулдаг.
03 Хоолойн материал
Хоолойн материалын сонголтыг ашиглалтын хэрэгцээнд нийцүүлэн сонгох шаардлагатай. Хоолойн чанарыг ерөнхийдөө хоолойн дотоод гадаргуугийн тэгш бус байдлын дагуу хэмждэг. Барзгар байдал бага байх тусам тоосонцор зөөвөрлөх магадлал бага байдаг. Ерөнхийдөө гурван төрөлд хуваагдана:
Нэг ньEP зэрэглэлийн 316л хоолой, электролитийн аргаар өнгөлсөн (Электро-Польш). Энэ нь зэврэлтэнд тэсвэртэй, гадаргуугийн тэгш бус байдал багатай. Rmax (хамгийн их оргилоос хөндийн өндөр) ойролцоогоор 0.3μm буюу түүнээс бага байна. Энэ нь хамгийн өндөр тэгш өнцөгтэй бөгөөд бичил гүйдэл үүсгэхэд хялбар биш юм. Бохирдсон тоосонцорыг зайлуул. Уг процесст ашигласан урвалын хийг энэ түвшинд дамжуулах хэрэгтэй.
Нэг нь аBA зэрэглэл 316LGN2 ба CDA гэх мэт чиптэй харьцдаг боловч процессын урвалд оролцдоггүй хийд ихэвчлэн ашиглагддаг Bright Anneal-ээр боловсруулсан хоолой. Нэг нь AP хоолой (Annealing & Picking) бөгөөд энэ нь тусгайлан боловсруулаагүй бөгөөд ерөнхийдөө хий дамжуулах шугам болгон ашигладаггүй давхар хоолойд ашиглагддаг.
04 Дамжуулах хоолой барих
Хоолойн амыг боловсруулах нь энэхүү барилгын технологийн гол цэгүүдийн нэг юм. Шугам хоолойг огтлох, угсрах ажлыг цэвэр орчинд гүйцэтгэдэг бөгөөд үүнтэй зэрэгцэн огтлохын өмнө шугам хоолойн гадаргуу дээр хортой тэмдэг, гэмтэл байхгүй эсэхийг баталгаажуулдаг. Шугам хоолойд азотыг угаах бэлтгэлийг дамжуулах хоолойг нээхээс өмнө хийх шаардлагатай. Зарчмын хувьд гагнуур нь өндөр цэвэршилттэй, өндөр цэвэршилттэй хий дамжуулах, түгээх дамжуулах хоолойг их урсгалтай холбоход хэрэглэгддэг боловч шууд гагнахыг зөвшөөрдөггүй. Суултын яндангийн холболтыг ашиглах ёстой бөгөөд гагнуурын явцад ашигласан хоолойн материал нь бүтцийн өөрчлөлтгүй байхыг шаарддаг. Нүүрстөрөгчийн хэт их агууламжтай материалыг гагнаж байвал гагнуурын хэсгийн агаар нэвчих чадвар нь хоолойн дотор болон гаднах хий нь бие биенээ нэвтлэн дамжуулах хийн цэвэршилт, хуурайшилт, цэвэр байдлыг алдагдуулж, ноцтой үр дагаварт хүргэдэг. үйлдвэрлэлийн чанарт нөлөөлдөг.
Дүгнэж хэлэхэд, өндөр цэвэршилттэй хий болон тусгай хий дамжуулах хоолойн хувьд тусгайлан боловсруулсан өндөр цэвэршилттэй зэвэрдэггүй ган хоолойг ашиглах ёстой бөгөөд энэ нь өндөр цэвэршилттэй дамжуулах хоолойн системийг (шугам хоолой, хоолойн холбох хэрэгсэл, хавхлага, VMB, VMP гэх мэт) эзэлдэг. өндөр цэвэршилттэй хийн түгээлтийн амин чухал үүрэг.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 11-р сарын 26