Микроэлектроник, оптоэлектроник, биофармацевтик зэрэг салбаруудад,тод анивчих(BA), даршилж эсвэл идэвхгүйжүүлэх (AP),электролитийн өнгөлгөө (EP)болон вакуум хоёрдогч боловсруулалтыг ихэвчлэн мэдрэмтгий эсвэл идэмхий бодис дамжуулдаг өндөр цэвэршилттэй, цэвэр дамжуулах хоолойн системд ашигладаг. Ууссан (VIM+VAR) бүтээгдэхүүн.
A. Electro-Polished (Electro-Polished) -ийг EP гэж нэрлэдэг. Цахилгаан химийн өнгөлгөөний тусламжтайгаар гадаргуугийн морфологи, бүтцийг ихээхэн сайжруулж, гадаргуугийн бодит талбайг тодорхой хэмжээгээр багасгах боломжтой. Гадаргуу нь битүү, зузаан хромын ислийн хальс бөгөөд энерги нь хайлшийн хэвийн түвшинд ойрхон, зөөвөрлөгчийн хэмжээ багассан - ихэвчлэн электрон зэрэглэлд тохиромжтой.өндөр цэвэршилттэй хий.
B. Bright Annealing (Bright Annealing) -ийг BA гэж нэрлэдэг. Устөрөгчжүүлэлт эсвэл вакуум төлөвт өндөр температурт дулааны боловсруулалт хийх нь нэг талаас дотоод стрессийг арилгах, нөгөө талаас хоолойн гадаргуу дээр идэвхгүй хальс үүсгэж, морфологийн бүтцийг сайжруулж, энергийн түвшинг бууруулдаг боловч тийм биш юм. гадаргуугийн барзгар байдлыг нэмэгдүүлэх – ихэвчлэн GN2, CDA, процессын бус инертийн хийд тохиромжтой.
C. Даршилсан & идэвхгүйжүүлсэн/Химийн өнгөлсөн (Даршилсан & идэвхгүйжүүлсэн/Химийн өнгөлсөн) нь AP болон CP гэж нэрлэгддэг. Хоолойг даршилж, идэвхгүй болгох нь гадаргуугийн барзгар байдлыг нэмэгдүүлэхгүй, гэхдээ энэ нь гадаргуу дээрх үлдэгдэл тоосонцорыг арилгаж, эрчим хүчний түвшинг бууруулж болох боловч завсрын давхаргын тоог багасгахгүй - ихэвчлэн үйлдвэрлэлийн зориулалттай хоолойд ашиглагддаг.
D. V+V гэгддэг вакуум хоёрдогч уусгах цэвэр хоолой Vim (Вакуум индукц хайлуулах) + Вар (Вакуум нуман дахин хайлуулах) нь Сумитомо Металл компанийн бүтээгдэхүүн юм. Үүнийг вакуум төлөвт нумын нөхцөлд дахин боловсруулсан бөгөөд энэ нь зэврэлтэнд тэсвэртэй, гадаргуугийн барзгар байдлыг үр дүнтэй сайжруулдаг. Зэрэг - ихэвчлэн BCL3, WF6, CL2, HBr гэх мэт өндөр идэмхий өндөр цэвэршилттэй цахим хийд тохиромжтой. 
Шуудангийн цаг: 2024 оны 4-р сарын 08