1. Бөөнөөр хийн системийн тодорхойлолт:
Идэвхгүй хийн хадгалалт ба даралтын хяналт Хийн төрлүүд: Ердийн инертийн хий (азот, аргон, шахсан агаар гэх мэт)
Шугам хоолойн хэмжээ: 1/4 (хяналтын хоолой)-оос 12 инчийн гол хоолой хүртэл
Системийн гол бүтээгдэхүүнүүд нь: диафрагмын хавхлага/хөөрөг хавхлага/бөмбөлөг хавхлага, өндөр цэвэршилттэй холбогч (VCR, гагнуурын хэлбэр), феррул холбогч, даралт зохицуулагч хавхлага, даралт хэмжигч гэх мэт.
Одоогийн байдлаар шинэ системд мөн хадгалах, тээвэрлэх зориулалттай суурин хийн цилиндр эсвэл цистерн ачааны машин ашигладаг задгай тусгай хийн систем багтсан болно.
2. Цэвэршүүлэх системийн тодорхойлолт:
Өндөр цэвэршилттэй хийн хоолойд зориулсан их хэмжээний хийнээс хольцыг зайлуулах
3. Хийн шүүгээний тодорхойлолт:
Тусгай хийн эх үүсвэр (хортой, шатамхай, урвалд ордог, идэмхий хий)-ийн даралтыг хянах, урсгалын хяналтыг хангах, хийн цилиндрийг солих чадвартай байх.
Байршил: Тусгай хий хадгалах зориулалттай дэд давхар эсвэл доод давхарт байрладаг. Эх үүсвэр: NF3, SF6, WF6 гэх мэт.
Шугам хоолойн хэмжээ: Дотоод хийн хоолой, ерөнхийдөө процессын хоолойд 1/4 инч, ихэвчлэн өндөр цэвэршилттэй азотын цэвэршүүлэх хоолойд 1/4-3/8 инч.
Үндсэн бүтээгдэхүүнүүд: Өндөр цэвэршилттэй диафрагмын хавхлага, шалгах хавхлага, даралт хэмжигч, даралт хэмжигч, өндөр цэвэршилттэй холбогч (VCR, гагнуурын хэлбэр) Эдгээр хийн шүүгээ нь үндсэндээ тасралтгүй хийн хангамж, цилиндрийг аюулгүй солих боломжийг хангахын тулд цилиндрийг автоматаар асаах чадвартай.
4. Түгээлтийн тодорхойлолт:
Хийн эх үүсвэрийг хийн цуглуулах ороомогтой холбох
Шугамын хэмжээ: Чипийн үйлдвэрт их хэмжээний хийн түгээх хоолойн хэмжээ ерөнхийдөө 1/2 инчээс 2 инч хүртэл байдаг.
Холболтын хэлбэр: Тусгай хийн хоолойг ерөнхийдөө гагнуурын аргаар холбодог бөгөөд механик холболт болон бусад хөдөлгөөнт хэсгүүдийг ашигладаггүй бөгөөд голчлон гагнуурын холболт нь битүүмжлэлийн найдвартай байдал сайтай байдаг.
Чипийн үйлдвэрт хий дамжуулахын тулд хэдэн зуун километр урттай хоолой холбогдсон бөгөөд эдгээр нь үндсэндээ 20 фут урттай бөгөөд гагнаж холбодог. Зарим хоолойн нугалалт болон гагнуурын холболтууд бас маш түгээмэл байдаг.
5. Олон үйлдэлт хавхлагын хайрцаг (Valve Manifold Box, VMB) Тодорхойлолт:
Энэ нь хийн эх үүсвэрээс тусгай хийг өөр өөр тоног төхөөрөмжийн төгсгөлд хуваарилах явдал юм.
Дотоод дамжуулах хоолойн хэмжээ: 1/4 инчийн боловсруулалтын дамжуулах хоолой, 1/4 - 3/8 инчийн цэвэрлэгээний дамжуулах хоолой. Систем нь компьютерийн хяналтыг ашиглан идэвхжүүлэх хавхлагыг шаардах эсвэл гараар тохируулах хавхлагтай үед зардал багатай нөхцөл байдлыг шаардаж болно.
Системийн бүтээгдэхүүнүүд: өндөр цэвэршилттэй диафрагмын хавхлага/хөөрөгний хавхлага, шалгах хавхлага, өндөр цэвэршилттэй холболт (VCR, бичил гагнуурын хэлбэр), даралт тохируулагч хавхлага, даралт хэмжигч болон даралт хэмжигч гэх мэт. Зарим инертийн хийн тархалтын хувьд голчлон хавхлагын коллекторын самбар - VMP (олон үйлдэлт хавхлагын диск)-ийг ашигладаг бөгөөд энэ нь нээлттэй хийн дискний гадаргуутай бөгөөд битүү орон зайн дизайн болон нэмэлт азотын цэвэрлэгээ шаарддаггүй.
6. Хоёрдогч хавхлагын хавтан/хайрцаг (Багажны холболтын самбар) Тодорхойлолт:
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид шаардлагатай хийг хийн эх үүсвэрээс төхөөрөмжийн төгсгөлд холбож, харгалзах даралтын зохицуулалтыг хангана. Энэхүү самбар нь VMB (олон үйлдэлт хавхлагын хайрцаг)-аас тоног төхөөрөмжийн төгсгөлд ойрхон байрладаг хийн хяналтын систем юм.
Хий дамжуулах хоолойн хэмжээ: 1/4 - 3/8 инч
Шингэн дамжуулах хоолойн хэмжээ: 1/2 - 1 инч
Ус зайлуулах хоолойн хэмжээ: 1/2 - 1 инч
Үндсэн бүтээгдэхүүнүүд: диафрагмын хавхлага/хөөрөг хавхлага, нэг чиглэлийн хавхлага, даралт тохируулах хавхлага, даралт хэмжигч, даралт хэмжигч, өндөр цэвэршилттэй холболт (VCR, бичил гагнуур), феррул холболт, бөмбөлөг хавхлага, хоолой гэх мэт.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 11-р сарын 22