1. Бөөн хийн системийн тодорхойлолт:
Инерцийн хийн хадгалалт ба даралтын хяналт Хийн төрөл: Ердийн инерт хий (азот, аргон, шахсан агаар гэх мэт)
Дамжуулах хоолойн хэмжээ: 1/4 (хяналтын шугам хоолой) -аас 12 инчийн гол хоолой хүртэл
Системийн гол бүтээгдэхүүнүүд нь: диафрагм хавхлага/хөөрөг хавхлага/бөмбөг хавхлага, өндөр цэвэршилттэй холбогч (VCR, гагнуурын хэлбэр), феррул холбогч, даралт тохируулагч хавхлага, даралт хэмжигч гэх мэт.
Одоогийн байдлаар шинэ системд мөн агуулах, тээвэрлэхэд суурин хийн цилиндр эсвэл автоцистерн ашигладаг бөөнөөр нь тусгай хийн системийг багтаасан болно.
2. Цэвэршүүлэх системийн тодорхойлолт:
Өндөр цэвэршилттэй хий дамжуулах хоолойд зориулж задгай хийнээс хольцыг зайлуулах
3. Хийн кабинетийн тодорхойлолт:
Тусгай хийн эх үүсвэр (хортой, шатамхай, урвалд ордог, идэмхий хий) даралтын хяналт, урсгалын хяналтыг хангах, хийн цилиндрийг солих чадвартай байх.
Байршил: Тусгай хий хадгалах зориулалттай дэд давхарт эсвэл доод давхарт байрладаг Эх сурвалж: NF3, SF6, WF6 гэх мэт.
Дамжуулах хоолойн хэмжээ: Дотоод хий дамжуулах хоолой, ерөнхийдөө процесс дамжуулах хоолойд 1/4 инч, 1/4-3/8 инч нь ихэвчлэн өндөр цэвэршилттэй азотын цэвэршүүлэх хоолойд зориулагдсан.
Үндсэн бүтээгдэхүүн: Өндөр цэвэршилттэй диафрагм хавхлага, шалгах хавхлага, даралт хэмжигч, даралт хэмжигч, өндөр цэвэршилттэй холбогч (VCR, гагнуурын хэлбэр) Эдгээр хийн кабинетууд нь үндсэндээ цилиндрийг тасралтгүй хийн нийлүүлэх, цилиндрийг аюулгүйгээр солих автомат сэлгэн залгах чадварыг агуулдаг.
4. Түгээлтийн тодорхойлолт:
Хийн эх үүсвэрийг хий цуглуулах ороомогтой холбох
Шугамын хэмжээ: Чипний үйлдвэрт задгай хий түгээх хоолойн хэмжээ ерөнхийдөө 1/2 инчээс 2 инч хооронд хэлбэлздэг.
Холболтын хэлбэр: Тусгай хий дамжуулах хоолойг ерөнхийдөө гагнуурын аргаар холбодог бөгөөд энэ нь гагнуурын холболт нь битүүмжлэлийн найдвартай байдал сайтай байдаг тул механик холболт болон бусад хөдөлгөөнт хэсгүүдийг ашигладаг.
Чипний үйлдвэрт хий дамжуулахаар холбогдсон хэдэн зуун километр хоолой байдаг бөгөөд тэдгээр нь үндсэндээ 20 фут урттай, хоорондоо гагнагдсан байдаг. Зарим хоолойн гулзайлт, гуурсан хоолойн гагнуурын холболтууд нь маш түгээмэл байдаг.
5. Олон үйлдэлт хавхлагын хайрцаг (Valve Manifold Box, VMB) Тодорхойлолт:
Энэ нь хийн эх үүсвэрээс тусгай хийнүүдийг янз бүрийн төхөөрөмжийн төгсгөлд түгээх явдал юм.
Дотоод дамжуулах хоолойн хэмжээ: 1/4 инчийн процесс дамжуулах хоолой, 1/4 - 3/8 инч цэвэрлэх дамжуулах хоолой. Систем нь автомат хавхлагатай байх эсвэл гар хавхлагатай хямд өртөгтэй нөхцөлд компьютерийн хяналтыг ашиглаж болно.
Системийн бүтээгдэхүүн: өндөр цэвэршилттэй диафрагм хавхлага/хөөрөг хавхлага, шалгах хавхлага, өндөр цэвэршилттэй холболт (VCR, бичил гагнуурын хэлбэр), даралт тохируулагч хавхлага, даралт хэмжигч ба даралт хэмжигч гэх мэт. Зарим инертийн хийг хуваарилах зориулалттай Valve Manifold Panel - VMP (олон үйлдэлт хавхлагын диск) голчлон ашиглагддаг бөгөөд энэ нь задгай хийн дискний гадаргуутай бөгөөд хаалттай орон зай, нэмэлт азот шаарддаггүй. цэвэрлэх.
6. Хоёрдогч хавхлагын хавтан/хайрцаг (Хэрэгслийн холболтын самбар) Тодорхойлолт:
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид шаардагдах хийг хийн эх үүсвэрээс төхөөрөмжийн төгсгөлд холбож, зохих даралтын зохицуулалтыг хангана. Энэ самбар нь VMB (олон үйлдэлт хавхлагын хайрцаг) -аас илүү төхөөрөмжийн төгсгөлд ойрхон байдаг хийн хяналтын систем юм.
Хийн дамжуулах хоолойн хэмжээ: 1/4 - 3/8 инч
Шингэн дамжуулах хоолойн хэмжээ: 1/2 - 1 инч
Ус зайлуулах хоолойн хэмжээ: 1/2 - 1 инч
Үндсэн бүтээгдэхүүн: диафрагмын хавхлага/хөөрөг хавхлага, нэг талын хавхлага, даралт тохируулагч хавхлага, даралт хэмжигч, даралт хэмжигч, өндөр цэвэршилттэй холболт (VCR, бичил гагнуур), феррул холбоос, бөмбөг хавхлага, хоолой гэх мэт.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 11-р сарын 22